超高精度压力传感器的响应频率取决于三个重要因素

　　超高精度压力传感器的响应频率取决于三个重要因素：1、传感器的固有频率。2、传感器的封装方式。3、变送电路的频率响应带宽。
 

　　首先，传感器的固有频率是取决于传感器敏感元的材料及结构的物理特性，在传感器芯片生产过程中已经定型，无法通过后期的处理而改变，所以固有频率一般只作为动态压力传感器参数的一个物理性指标，在传感器的选型和应用中没有太大的实际意义。压力传感器采用德国进口微机械加工技术的压力敏感元件，具有*的固有频率，(固有频率可达1-2MHz)，产品的各项参数指标均性能优良。
 

　　其次，传感器的封装是决定传感器响应频率的重要过程。相同固有频率的传感器芯片，采用不同的封装方式，直接影响传感器能够使用的频响范围。压力传感器通常采用准齐平封装方式，尽可能的减小管腔效应带来的频响损失，提高产品的频率响应。
 

　　第三，传感器封装完成，需要配合后续的采集设备，实现动态压力的复现。由于传感器本身输出信号是几十毫伏的非标准的电信号，如果直接采集该信号，对后续的采集设备要求较高，而且小信号不利于长距离传输，易受到外界环境的干扰，影响测量的真实性，所以通常会将几十毫伏的微小信号经过放大处理，转换成标准的电压信号。那么在这个转换过程中就要求电路要有足够高的响应带宽，足够短的上升时间，才能不失真的复现压力变化过程。