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超高精度压力传感器的响应频率取决于三个重要因素

发布时间:2021-06-11点击次数:990次
  超高精度压力传感器的响应频率取决于三个重要因素:1、传感器的固有频率。2、传感器的封装方式。3、变送电路的频率响应带宽。
 
  首先,传感器的固有频率是取决于传感器敏感元的材料及结构的物理特性,在传感器芯片生产过程中已经定型,无法通过后期的处理而改变,所以固有频率一般只作为动态压力传感器参数的一个物理性指标,在传感器的选型和应用中没有太大的实际意义。压力传感器采用德国进口微机械加工技术的压力敏感元件,具有极高的固有频率,(固有频率可达1-2MHz),产品的各项参数指标均性能优良。
 
  其次,传感器的封装是决定传感器响应频率的重要过程。相同固有频率的传感器芯片,采用不同的封装方式,直接影响传感器能够使用的频响范围。压力传感器通常采用准齐平封装方式,尽可能的减小管腔效应带来的频响损失,提高产品的频率响应。
 
  第三,传感器封装完成,需要配合后续的采集设备,实现动态压力的复现。由于传感器本身输出信号是几十毫伏的非标准的电信号,如果直接采集该信号,对后续的采集设备要求较高,而且小信号不利于长距离传输,易受到外界环境的干扰,影响测量的真实性,所以通常会将几十毫伏的微小信号经过放大处理,转换成标准的电压信号。那么在这个转换过程中就要求电路要有足够高的响应带宽,足够短的上升时间,才能不失真的复现压力变化过程。
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