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扩散硅式压力传感器和电容式压力传感器

发布时间:2022-04-27点击次数:284次

压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出,所以被最常应用在工业领域中。



随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生,其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。



压力传感器的种类很多,根据不同的分类标准可以分成不同种类。下面为大家介绍两种最为常见的压力传感器:



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扩散硅式压力传感器



扩散硅压力传感器工作原理是基于压阻效应,利用压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,利用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。



扩散硅压力传感器体积小、重量轻,性能稳定,适合制作小量程的变送器,主要应用于过程控制系统、压力校准仪器、液压系统、生物医药仪器、液压系统及阀门、液位测量、制冷设备和 HVAC 控制等行业。



2、电容式压力传感器



电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。



电容式压力传感器具有输入能量低,高动态响应,自然效应小,环境适应性好等特点。其中,陶瓷电容压力传感器因其耐腐蚀、抗冲击、无迟滞、介质兼容性强等优势可以广泛应用在水、气、液多种介质的压力检测。



压力是生产生活中的重要参数之一,压力传感器也广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。


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