电容式加速度传感器低频测量信号失真的原因分析

　　电容式加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。
 

　　在我们使用电容式加速度传感器有时会碰到低频场合测量时输出信号出现失真的情况，用多种测量判断方法还一时找不出故障出现的原因，令我们很头疼。下面就针对低频测量情况，和大家分享一下导致测量结果失真的因素有哪些：
 

　　一、系统低频信噪比差：
 

　　出现这个情况大多是由于传感器的低频噪声大，这就需要选用满足低频信噪比指标的传感器。
 

　　二、系统低频响应差：
 

　　这有两方面的原因：传感器低频响应的截至频率不够低;与传感器配套使用的恒流电压源或电荷放大器的截至频率不够低。针对种情况就需要检查传感器的低频响应(可通过测量时间常数来判断), 选用低频好的传感器。如果是第二种情况就需要正确选用恒流电压源和电荷放大器的低频截至频率。
 

　　三、外界环境对测量信号的影响：
 

　　这主要考虑瞬态环境温度对传感器造成的影响，可以对传感器采用隔热护套，选用温度响应系数小的传感器来加以避免。
 

　　所以，只要出现电容式加速度传感器低频测量信号失真情况，只要对比以上三点，看看是哪个因素造成的，有针对性的进行解决，可以起到事半功倍的效果。